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Beschreibung

Plasma Processes for Semiconductor Fabrication

Die Plasmabearbeitung ist eine zentrale Technik bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen. Dieses in sich geschlossene Buch bietet eine aktuelle Beschreibung des Plasmaätzens und der Abscheidung in der Halbleiterfertigung. Es stellt die grundlegende Physik und Chemie dieser Prozesse dar und zeigt, wie sie genau modelliert werden können. Der Autor beginnt mit einem Überblick über Plasmareaktoren und diskutiert die verschiedenen Modelle zum Verständnis von Plasmaprozessen. Anschließend geht er auf die Plasmachemie ein und beschreibt detailliert die Modellierung komplexer Plasmasysteme anhand experimenteller Ergebnisse. Den Abschluss des Buches bildet ein nützliches Glossar mit Fachbegriffen. Vorkenntnisse in der Plasmaphysik werden in dem Buch nicht vorausgesetzt. Es enthält viele Übungen und dient als idealer Einstieg in die Plasmaverarbeitung und -technologie für Doktoranden der Elektrotechnik und Materialwissenschaften. Es wird auch ein nützliches Nachschlagewerk für praktizierende Ingenieure in der Halbleiterindustrie sein. Sprache: Englisch
  • Marke: Unbranded
  • Kategorie: Computer und Internet
  • Künstler: Hitchon W. Nicholas G.
  • Format: Gebundene Ausgabe
  • Verlag / Label: Cambridge University Press
  • Sprache: Englisch
  • Erscheinungsdatum: 2014/08/28
  • Seitenzahl: 232
  • Fruugo-ID: 337992387-741652981
  • ISBN: 9780521591751

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